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無塵凈化車間中對溫濕度的控制要求

2021-01-11 11:47:10

無塵凈化車間是溫濕度主要是根據產品需求的生產工藝來確定,而且在滿足產品工藝要求的同時還要考慮到工作人員的舒適度。隨著無塵凈化車間空氣潔凈等級的提升,各類工藝對于溫濕度的要求也越來越嚴格。

無塵凈化車間

總得來說,產品的加工精度越高,對于溫濕度波動的要求也就越高,要求溫濕度波動的范圍也就越小。例如在一些大規模集成電路的光刻曝光工藝中,直接只有一百微米的材料,如果環境溫度與要求直接相差了一度,就會造成材料零點幾微米的偏差,在這種高精度要求的無塵凈化車間中就是非常嚴重的生產事故。所以,這種工藝甚至是需求溫差保持在正負零點五攝氏度之間的。


另外,一些高精度的產品對于濕度的要求也非常嚴格。在一些電子元件的生產中,空氣的潮濕會直接影響到芯片的質量。而在大部分的硅類產品無塵凈化車間濕度的范圍被嚴格規定在了30-45%之間。


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